製品紹介

計測装置

計測装置
REシリーズ

高精度・低価格の多機能型自動膜厚測定装置

VM-2200/3200シリーズ

あらゆるニーズをコンパクトに集約

VM-1200シリーズ

コンパクトなボディーに多才な機能を搭載

VM-1020/1030

50mm〜300mmまでの幅広いウエハーサイズに対応

DR-8000

線幅測定繰り返し精度10nm(3σ)を実現