製品紹介

ウエハー洗浄装置

スクラバ
SS-80EX

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・
信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

ウェットステーション
CW-2000

フットプリント半減、生産性1.5倍の
ハイコストパフォーマンス洗浄装置

CW-1500

省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

WS-820L, WS-820C / 620C

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

FC-821L

ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

スピンプロセッサ・ポリマ除去
SU-2000

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現