製品紹介

■■■ 技術情報 ■■■

塗布

スプレイ塗布

高段差基板へのレジスト塗布例

洗浄

バッチ式コンパクトウェーハ洗浄装置

現在開発中のコンパクトウェーハ洗浄装置の概要を紹介します

• 製品紹介トップ
• 洗浄・エッチング
• 塗布
• 熱処理
• 計測
• その他
• ■■■ 技術情報 ■■■
• 塗布
• スプレイ塗布
• 洗浄
• バッチ式コンパクトウェーハ洗浄装置