製品紹介

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テックインテックは、長年にわたる半導体製造装置の研究・開発を礎に、さまざまな技術分野の可能性を追求し、 人々の豊かな暮らしと快適な社会環境を創造する製品を提供しています。

このページでは、200ミリ以下のウエハーに対応した半導体製造装置など多彩な製品ラインナップをご紹介し、また合わせて最新の技術情報を公開しています。

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SS-80EX

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・
信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

80EXシリーズ

凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布

SU-2000

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、優れたコストパフォーマンスを実現

CW-1500

省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

ZI-2000

ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求